臺日學者交流CMP研發(fā)技術

臺灣科技大學今天舉辦化學機械平坦化國際研討會，邀請臺科大特聘教授陳照彰、臺科大機械系教授木村景一、臺灣平坦化應用技術協(xié)會秘書長康來成、日本荏原制作所精密制造公司、臺灣愛美科股份有限公司等代表與會，從技術、市場、商業(yè)合作模式等方向，探討CMP如何有效運用既有的資源進行研發(fā)落實。

臺灣科技大學校長廖慶榮表示，為深化國際產學合作，去年與日本九州工業(yè)大學和日本荏原制作所合作，設立「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」，由日方提供經(jīng)費設立研究中心，并派遣主管來臺訓練師資，臺科大學生也可到荏原制作所實習，縮短產學落差，希望促進臺日雙方學界及企業(yè)界的三方合作，提升臺灣半導體制程研究發(fā)展。

臺科大特聘教授陳照彰指出，「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」在亞太區(qū)域具獨特地位，是亞太區(qū)驗證CMP新技術的重要測試中心；未來也將組織亞太化學機械平坦化聯(lián)盟，也盼臺科大晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心成為降低研發(fā)成本、縮短制程和產品商業(yè)化的有效平臺。