SCI在中國大陸售出首臺FilmTek薄膜特性測量儀

SCI(Scientific Computing International)公司生產(chǎn)的FilmTek薄膜特性測量儀器首次成功地實現(xiàn)了在中國大陸的銷售。繼向中國大陸售出多套模擬軟件FilmWizard之后，總部位于美國加州的SCI(Scientific Computing International)公司近日首次獲得來自中國大陸客戶的FilmTek2000PAR型膜厚測量儀訂單。該儀器通過光學(xué)方法測量反射光獲得薄膜的相關(guān)信息，如功率譜密度，Rs 及Rp等，與SCI研發(fā)的軟件擬合出電介質(zhì)函數(shù)，最后進(jìn)行優(yōu)化算法。該儀器采用240nm-860nm波段范圍的光源，進(jìn)行非接觸測量，通過FilmTek2000PAR軟件數(shù)據(jù)擬合，可同步獲得0度入射的反射率，薄膜厚度, N值,K值,能帶隙,組份,結(jié)晶度,表面粗糙度等參數(shù)。據(jù)透露，該公司FilmTek系列 (FilmTek 1000,2000,3000,4000) 儀器還可廣泛適用于測量半導(dǎo)體 （包括 300mm 硅片）， LCD， OLED和電介質(zhì)材料, 鍍膜玻璃, 光學(xué)抗反薄膜, 多層光學(xué)薄膜，電光材料，激光腔鏡, 金屬薄膜, 光盤等。