近日，“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”、“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究” 三項科研項目的科技成果鑒定會議在沈陽召開。專家組對這三項目給予了較高評價，對項目完成的質(zhì)量給予了充分地肯定，并建議在現(xiàn)有基礎(chǔ)上不斷地發(fā)揮自身優(yōu)勢，進一步推廣應(yīng)用并擴展應(yīng)用領(lǐng)域。
據(jù)悉，“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”為科技部十一五支撐計劃項目，“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究”均為科技部科研院所技術(shù)開發(fā)研究專項資金項目?！皞鞲衅鳒y試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”項目突破了高性能傳感器“試驗裝置高效高壓多波形控制”、“批量檢測系統(tǒng)弱信號檢測”、“可靠性強化試驗”等關(guān)鍵技術(shù)，達到了國際先進水平，對推動行業(yè)技術(shù)進步，增強產(chǎn)品市場競爭力，具有重要作用。“光密度連續(xù)變化濾光器件”項目開展了中性漸變薄膜的設(shè)計與制造工藝研究，研制出線性度和中性度良好的光密度連續(xù)變化濾光器件，線性度、中性度均達到±5%。研制開發(fā)的濾光器件，填補了國內(nèi)空白，并已實現(xiàn)批量生產(chǎn)?！癝OI壓力傳感器制造工藝研究”項目開展了SOI壓力傳感器制造工藝的研究，建起具有自主技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)支撐的高溫SOI壓力傳感器制造技術(shù)平臺，實現(xiàn)耐高溫SOI壓力傳感器批產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性，填補了國內(nèi)空白，具有廣大的應(yīng)用潛力和發(fā)展前景。
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