高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究將開展

近日，“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批復，項目總經費78萬元。

該項目由沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學聯(lián)合申報，執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項目將設計一種MEMS加速度傳感器，帶有主梁和超薄敏感微梁，主要基于納米功能材料來實現。

該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升，主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機械特性，以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，而如何解決這一難題成為業(yè)內的一大挑戰(zhàn)。該項目將通過對該敏感結構之主梁和微梁的合理設計，解決該難題，并實現均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。

研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關鍵技術，研制出新型加速度傳感器樣品，并對其可行性和優(yōu)勢進行驗證。該項目對于推進我國在隧道壓阻效應、納米復合膜微梁力學特性以及新型加速度傳感器技術等方面的研究具有重要意義，并為更深入和廣闊的應用提供了可能。