夏普首次試制的氧化物TFT液晶面板公開(kāi)發(fā)表

在顯示器技術(shù)國(guó)際學(xué)會(huì)“16th International Display Workshops（IDW 09）”的氧化物TFT分會(huì)上，夏普就首次試制的氧化物TFT液晶面板進(jìn)行了技術(shù)發(fā)表。日本的大型廠商追趕面板試制開(kāi)發(fā)處于領(lǐng)先地位的韓國(guó)廠商，這對(duì)日本未來(lái)的發(fā)展是一件值得欣喜的事情。在開(kāi)發(fā)者見(jiàn)面會(huì)（Authors interview）上演示的2.6英寸QVGA（320×240像素）面板的完成度也很高，由此可以看出夏普為開(kāi)發(fā)該產(chǎn)品進(jìn)行了全力投入。

　圖為夏普開(kāi)發(fā)的氧化物TFT液晶面板

TFT結(jié)構(gòu)為傳統(tǒng)的反向通道蝕刻（Back Channel Etch）型。氧化物半導(dǎo)體采用IGZO（In-Ga-Zn-O）。

特性偏差方面，通過(guò)對(duì)320mm×400mm底板上的21個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，遷移率μ＝13.4±0.9cm2/Vs（σ＝0.5），閾值電壓Vth＝3.0±0.4V（σ＝0.2）。對(duì)于人們關(guān)心的可靠性，夏普稱(chēng)基于DC偏壓應(yīng)力的Vth偏移在25℃下為非晶硅（a-Si）TFT的1/4左右程度，在85℃下是其1/10左右。基于脈沖偏壓的Vth偏移在60℃下為a-Si TFT的70％左右。該公司稱(chēng)，作為液晶面板工作時(shí)，在60℃條件下，其TFT特性1000小時(shí)內(nèi)不會(huì)發(fā)生變化。

另外，夏普還介紹說(shuō)，利用該IGZO TFT試制出了與前一天發(fā)布的微晶硅TFT液晶面板相同的微晶硅TFT12.1英寸WXGA面板，并進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)演示。遺憾的是該公司并沒(méi)有在開(kāi)發(fā)者見(jiàn)面會(huì)上進(jìn)行演示，面板的參數(shù)如下：

從面板的特性及可靠性方面來(lái)看，雖然內(nèi)置掃描驅(qū)動(dòng)電路及多路分配器（DeMUX：De-multiplexer）電路的難度較高，但不久的將來(lái)也有可能實(shí)現(xiàn)。此次的技術(shù)發(fā)布中提到了論文中沒(méi)有提及的面板，這說(shuō)明開(kāi)發(fā)速度非常快，今后還有望開(kāi)發(fā)出新面板。 (編輯：小舟）