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單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統(tǒng)
傳感器技術(shù)是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術(shù)的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。
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飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線
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飛思卡爾加速計在更小的封裝內(nèi)提供先進的動作傳感
三軸加速傳感器具有功耗低的特點，具備自由降落保護的零重力檢測和自我測試功能 微機電系統(tǒng)（MEMS）傳感器設(shè)備設(shè)計制造領(lǐng)域全球領(lǐng)先的飛思卡爾半導(dǎo)體目前正通過引入高敏感度的XYZ三軸加速計，滿足當(dāng)今智能移動設(shè)備領(lǐng)
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MEMS傳感器集成度提高消費電子成最大應(yīng)用
如果說微機電系統(tǒng)(MEMS)曾經(jīng)高昂的成本和價格阻礙了這項技術(shù)在消費類電子產(chǎn)品中的應(yīng)用，那么一系列封裝革新已經(jīng)改變了這一歷史。在不久前于上海舉行的第七屆電子封裝技術(shù)國際學(xué)術(shù)會議(ICEPT2006)上，意法半導(dǎo)體(ST)M
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日本模擬器件09年前后推出6軸MEMS傳感器
模擬器件(日本)2006年9月26日在東京舉行新聞發(fā)布會，公布了車載MEMS傳感器的投產(chǎn)規(guī)劃。 該公司目前的產(chǎn)品線還停留在2軸加速度傳感器和1軸角速度傳感器，但計劃2009～2010年前后投產(chǎn)融合3軸加速度傳感器和3軸角速度
