作為半導(dǎo)體行業(yè)最重要的生產(chǎn)設(shè)備,光刻機(jī)實(shí)在太重要了,整個(gè)芯片生產(chǎn)1/3的時(shí)間及成本都耗費(fèi)在光刻上,EUV光刻機(jī)更是只有荷蘭ASML一家公司能產(chǎn),單臺售價(jià)超過10億元,這個(gè)生意一般人做不了。 半導(dǎo)體工藝
極紫外光刻(Extreme Ultra-violet),常常被稱作EUV光刻。光刻機(jī)決定著半導(dǎo)體工藝的制程工藝,7nm以及以上的工藝離不開EUV光刻機(jī),EUV光刻技術(shù)使晶體管密度和性能都變得更好。因而EUV光刻機(jī)成為眾多半導(dǎo)體廠商的心頭之好。
臺積電上周發(fā)布了3月及Q1季度財(cái)報(bào),營收同比大漲了42%,淡季不淡。不過接下來的日子半導(dǎo)體行業(yè)可能不太好過了,ASML的EUV光刻機(jī)已經(jīng)斷貨,要延期交付,好在臺積電今年已經(jīng)在5nm工藝上搶先三星了。
光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造流程中的核心設(shè)備,由于技術(shù)復(fù)雜、廠商壟斷,導(dǎo)致其價(jià)格昂貴。 最近,光刻機(jī)全球領(lǐng)導(dǎo)廠商荷蘭ASML發(fā)布最新報(bào)告,今年一季度,ASML共獲得了73 臺光刻機(jī)訂單,其中 11 臺是極紫外EUV光刻機(jī)。 據(jù)介紹,這73 臺光刻機(jī)訂單金額高達(dá) 30.85 億
目前上市的5G處理器還是7nm的,前不久紫光展銳發(fā)布了虎賁T7520,全球首發(fā)6nm EUV工藝,展銳表示沒有2億美元就別想做6nm芯片。 虎賁T7520則是基于馬卡魯2.0平臺,單芯片集成5G基帶。
在EUV光刻機(jī)方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī),去年出貨26臺,創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)在2022年開始出貨。 根據(jù)ASML之前的報(bào)告
作為全球晶圓代工廠的一哥,TSMC臺積電今年在先進(jìn)制程上的優(yōu)勢還會(huì)進(jìn)一步加強(qiáng),除了7nm供不應(yīng)求之外,6nm及5nm工藝也會(huì)量產(chǎn),以滿足蘋果、華為、高通等大客戶需求。 為此臺積電2020年的資本開支再
半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步一直備受關(guān)注,尤其是國產(chǎn)半導(dǎo)體技術(shù)差距依然很大,每一步都走得很艱難,每一步都令人鼓舞。 日前,韓國媒體報(bào)道稱,國內(nèi)最大代工廠中芯國際的董事長周子學(xué)博士在韓國訪問期間透露,已經(jīng)與荷蘭光刻
今天鬧得沸沸揚(yáng)揚(yáng)的ASML光刻機(jī)對中國廠商斷供一事,ASML公司官方也發(fā)表了聲明,否認(rèn)了延遲出貨、斷供等說法,稱媒體報(bào)道有誤,ASML對全球客戶是一視同仁的。 這次外媒報(bào)道來源于日本的日經(jīng)新聞獨(dú)家新聞
半導(dǎo)體制造過程中最復(fù)雜也是最難的步驟就是光刻,光刻機(jī)也因此成為最重要的半導(dǎo)體制造設(shè)備。在7nm制程的較量中,臺積電之所以能夠領(lǐng)先,一個(gè)很重要的原因就是EUV技術(shù),在半導(dǎo)體制造的工藝中,這部分的成本就能
2019年6月6日,華虹無錫集成電路研發(fā)和制造基地(一期)12 英寸生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目首批三臺光刻機(jī)搬入儀式舉行。光刻設(shè)備的搬入標(biāo)志著華虹無錫基地項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)入新的里程,整個(gè)項(xiàng)目也隨即達(dá)到新高度。
晶圓制造產(chǎn)業(yè)進(jìn)入7納米制程之后,目前全世界僅剩臺積電與三星,再加上號稱自家10納米制程優(yōu)于競爭對手7納米制程的英特爾等,有繼續(xù)開發(fā)能力之外,其他競爭者因須耗費(fèi)大量金錢與人力物力的情況下,都已宣布放棄。
在先進(jìn)制程納米節(jié)點(diǎn)持續(xù)微縮下,光刻機(jī)是重要關(guān)鍵設(shè)備。12寸晶圓主要光刻機(jī)為ArF immersion機(jī)臺,可覆蓋45nm一路往下到7nm節(jié)點(diǎn)的使用范圍,其雷射光波長最小微縮到193nm;針對7nm節(jié)點(diǎn)以下的制程,EUV(Extreme Ultra-Violet)極紫外光使用光源波長為13.5nm,確保先進(jìn)制程持續(xù)發(fā)展的可能性。
當(dāng)時(shí),英特爾投資了41億美元,交易有效期為5年,英特爾將擁有ASML 15%的股份,同時(shí)為ASML的研發(fā)項(xiàng)目投資33億美元。
盡管UMC(聯(lián)電)和Globalfoundries(格芯)先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā),但ASML依然對EUV光刻機(jī)的前景表示樂觀。
近日消息,中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)向荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML訂購了一臺EUV設(shè)備,EUV是當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最先進(jìn)也最昂貴的芯片制造設(shè)備,這臺設(shè)備價(jià)值1.2億美元,差不多花費(fèi)了中芯一季度營收的14%。EUV對于
《巴倫》報(bào)導(dǎo),芯片設(shè)備供應(yīng)商艾司摩爾ASML的表現(xiàn),可能要比大多數(shù)人想像的要好,瑞士信貸分析師Farhan Ahmad即認(rèn)為,艾司摩爾的產(chǎn)品是芯片制造商臺積電與競爭對手三星電子( 005930-KR )爭奪霸主地位的關(guān)鍵要素,估計(jì)可以在鷸蚌相爭中,漁翁得利。
ASML的量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)在TSMC現(xiàn)場初試時(shí)出現(xiàn)失誤。在2014年加州SanJose舉行的先進(jìn)光刻技術(shù)會(huì)議上TSMC演講中透露此消息,由于EUV光源內(nèi)的激光機(jī)械部分出現(xiàn)異位導(dǎo)致光源破裂。因此EUV光刻機(jī)停擺。TSMC的下一代光刻部經(jīng)理
ASML的量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)在TSMC現(xiàn)場初試時(shí)出現(xiàn)失誤。在2014年加州SanJose舉行的先進(jìn)光刻技術(shù)會(huì)議上TSMC演講中透露此消息,由于EUV光源內(nèi)的激光機(jī)械部分出現(xiàn)異位導(dǎo)致光源破裂。因此EUV光刻機(jī)停擺。TSMC的下一代光刻部經(jīng)