MEMS

我要報(bào)錯(cuò)

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。常

華潤上華亮相深圳IIC-China并做精彩演講

華潤微電子旗下的華潤上華科技有限公司（以下簡稱“華潤上華”）攜其專注于中國熱點(diǎn)市場的特色模擬工藝平臺(tái)亮相第十七屆深圳IIC-China展會(huì)暨研討會(huì)，吸引了廣大業(yè)內(nèi)人士與參觀嘉賓的關(guān)注。此次盛會(huì)由Global Sources主

消費(fèi)電子
2012-02-29

IIC-CHINA 模擬晶圓代工 MEMS
典型MEMS工藝流程

MEMS表面微機(jī)械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的MEMS制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結(jié)構(gòu)單元的薄膜。表面微加工工藝采用若干淀積層來制作結(jié)構(gòu)，然后釋放部件，允

工業(yè)控制
2012-02-27

多晶硅光刻 LPC MEMS
2016年手機(jī)MEMS器件市場有望超60億美元

根據(jù)Juniper Research公司的分析，到2016年，用于移動(dòng)消費(fèi)電子設(shè)備中的傳感器，音響，顯示器和RF的MEMS器件市場將超過60億美元。Juniper公司稱，用于音響和RF的MEMS元件雖已被開發(fā)，但是才剛開始應(yīng)用，市場增長前景廣

工業(yè)控制
2012-02-27

器件 NI MEMS
技術(shù)推動(dòng)是加速傳感器技術(shù)發(fā)展的保證和機(jī)遇

傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科技的前沿技術(shù)，傳感器產(chǎn)業(yè)也是國內(nèi)外公認(rèn)的具有發(fā)展前途的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，它以其技術(shù)含量高、經(jīng)濟(jì)效益好、滲透能力強(qiáng)、市場前景廣等特點(diǎn)為世人矚目。我國自動(dòng)化方面的專家呼吁：目前復(fù)雜系統(tǒng)越來越復(fù)

消費(fèi)電子
2012-02-27

傳感器技術(shù) 儀器加速傳感器 MEMS
汽車上mems (微機(jī)電系統(tǒng))應(yīng)用

mems (微機(jī)電系統(tǒng))傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià)，特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用

工業(yè)控制
2012-02-22

汽車微機(jī)電系統(tǒng) 輪胎 MEMS
MEMS可調(diào)色散補(bǔ)償儀原理

色散管理是高數(shù)據(jù)率DWDM系統(tǒng)中一項(xiàng)極為重要的技術(shù)，尤其是對40Gbps系統(tǒng)，其數(shù)據(jù)傳輸質(zhì)量對色散十分敏感，在實(shí)際工作中經(jīng)常用色散補(bǔ)償光纖(DCF)對固定色散值進(jìn)行補(bǔ)償。然而，DCF無法完全滿足40Gbps系統(tǒng)嚴(yán)格的公差要求

工業(yè)控制
2012-02-22

信道色散 DC MEMS
亞德諾MEMS麥克風(fēng)進(jìn)軍工業(yè)應(yīng)用市場

亞德諾(ADI)發(fā)表業(yè)界最低雜訊的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)--ADMP 504。該款提供65dBA的訊號(hào)雜訊比(SNR)或29dBA的等效輸入雜訊(EIN)，相當(dāng)于兩組獨(dú)立的62dB SNR麥克風(fēng)陣列具備的SNR性能。 iSuppli MEMS與感測器總監(jiān)暨

模擬
2012-02-22

應(yīng)用市場麥克風(fēng) 工業(yè)應(yīng)用 MEMS
ADI 以業(yè)界最低雜訊 MEMS 麥克風(fēng)樹立高效能基準(zhǔn)

新的ADMP 504 MEMS麥克風(fēng)提供了2倍于同級(jí)解決方案的遠(yuǎn)場聲音捕捉能力以及高解析度音訊錄音所需的寬頻頻率響應(yīng) 臺(tái)北2012年2月15日電 /美通社亞洲/ -- 全球信號(hào)處理應(yīng)用高性能半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)廠商Analog Devices,

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2012-02-16

麥克風(fēng) ADI ANALOG MEMS
利用MEMS慣性感測技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革

　雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感器的用途，這些產(chǎn)品使用了基于運(yùn)動(dòng)感測技術(shù)的用戶界面。　　盡管

工業(yè)控制
2012-02-15

感測技術(shù) 手勢識(shí)別 IMU MEMS
ST率先采用矽穿孔技術(shù) 實(shí)現(xiàn)尺寸更小且更智慧的MEMS晶片

意法半導(dǎo)體 (STMicroelectronics，簡稱ST)率先將矽穿孔技術(shù)(Through-Silicon Via，TSV)導(dǎo)入MEMS晶片量產(chǎn)。在意法半導(dǎo)體的多晶片MEMS產(chǎn)品(如智慧型感測器和多軸慣性模組)內(nèi)，矽穿孔技術(shù)以短式垂直互連方式(short vert

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2012-02-15

晶片意法半導(dǎo)體 ST MEMS
基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)

技術(shù)背景在PMP個(gè)人媒體播放器等便攜式應(yīng)用中，TFT液晶顯示器已成為主流配置。雖然TFT液晶顯示器具有圖像清晰、對比度高等優(yōu)點(diǎn)，但其耗電占了PMP系統(tǒng)耗電的70%以上。隨著分辨率不斷提高，屏幕加大，顯示器的功耗也

顯示光電
2012-02-06

金屬顯示技術(shù) 控制 MEMS
2011年汽車MEMS勁增16%，自然災(zāi)害卻有意外驚喜

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS研究報(bào)告，2011年汽車MEMS傳感器與激勵(lì)器市場再度表現(xiàn)出色，盡管遇到日本和泰國自然災(zāi)害等諸多意外因素。2011年汽車MEMS銷售額達(dá)到22億美元，比2010年的19億美元?jiǎng)旁?6%。去年保持了2010年大

消費(fèi)電子
2012-02-06

汽車 MEMS傳感器 MEMS
基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)

技術(shù)背景在PMP個(gè)人媒體播放器等便攜式應(yīng)用中，TFT液晶顯示器已成為主流配置。雖然TFT液晶顯示器具有圖像清晰、對比度高等優(yōu)點(diǎn)，但其耗電占了PMP系統(tǒng)耗電的70%以上。隨著分辨率不斷提高，屏幕加大，顯示器的功耗也

數(shù)字電源
2012-02-04

金屬顯示技術(shù) 控制 MEMS
2011年汽車MEMS銷售額達(dá)22億美元

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS研究報(bào)告，2011年汽車MEMS傳感器與激勵(lì)器市場再度表現(xiàn)出色，盡管遇到日本和泰國自然災(zāi)害等諸多意外因素。 2011年汽車MEMS銷售額達(dá)到22億美元，比2010年的19億美元?jiǎng)旁?6%。去年保持了2010

模擬
2012-02-03

汽車 MEMS傳感器 BSP MEMS
豐田中央研究所介紹硅深掘時(shí)的異常蝕刻及其處理方法

為解決異常蝕刻而試制的修正掩模示例。右圖是左圖的部分放大（攝影：豐田中央研究所）（點(diǎn)擊放大）在2012年2月2日閉幕的“第25屆IEEE MEMS國際會(huì)議（The 25th International Conference on Micro Electro Mechan

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2012-02-03

豐田 CE MICRO MEMS
汽車MEMS在逆境中強(qiáng)勁增長

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS研究報(bào)告，2011年汽車MEMS傳感器與激勵(lì)器的表現(xiàn)比預(yù)期中要好很多，大大超出期望值，盡管受到日本大地震泰國洪災(zāi)等不利因素影響。MEMS壓力傳感器相比傳統(tǒng)壓力傳感器具有體積小和成本低的顯著優(yōu)

消費(fèi)電子
2012-02-02

汽車壓力傳感器 MEMS傳感器 MEMS
汽車MEMS在2011年繼續(xù)表現(xiàn)亮麗，銷售額強(qiáng)勁增長

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS研究報(bào)告，2011年汽車MEMS傳感器與激勵(lì)器市場再度表現(xiàn)出色，盡管遇到日本和泰國自然災(zāi)害等諸多意外因素。2011年汽車MEMS銷售額達(dá)到22億美元，比2010年的19億美元?jiǎng)旁?6%。去年保持了2010年大

汽車電子
2012-02-02

汽車 MEMS傳感器 MEMS
汽車MEMS在2011年繼續(xù)表現(xiàn)亮麗，銷售額強(qiáng)勁增長

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS研究報(bào)告，2011年汽車MEMS傳感器與激勵(lì)器市場再度表現(xiàn)出色，盡管遇到日本和泰國自然災(zāi)害等諸多意外因素。2011年汽車MEMS銷售額達(dá)到22億美元，比2010年的19億美元?jiǎng)旁?6%。去年保持了2010年大

消費(fèi)電子
2012-02-02

汽車 MEMS傳感器 MEMS
MEMS壓力傳感器市場在未來三至五年內(nèi)將加速增長

受訪人：飛思卡爾傳感器和致動(dòng)器解決方案部壓力傳感器產(chǎn)品線經(jīng)理Paul Gan TDK-EPC公司成員愛普科斯大中華區(qū)資深SAW和MEMS產(chǎn)品市場經(jīng)理王緯瑛女士 TDK-EPC公司成員愛普科斯大中華區(qū)資深傳感器產(chǎn)品市場經(jīng)理崔鵬

模擬
2012-02-01

壓力傳感器 TDK EPC MEMS
新研發(fā)可植入式MEMS感測器　能用饒舌音樂啟動(dòng)

美國普渡大學(xué)(Purdue University)的研究人員開發(fā)出一種微機(jī)電(MEMS)感測器，號(hào)稱可應(yīng)用于人體植入裝置，并利用饒舌音樂的重低音選擇性地啟動(dòng)該裝置。研究人員指出，頻率在200~500Hz的音樂會(huì)讓該MEMS感測器的懸臂(can

模擬
2012-01-31

植入式感測器 AI MEMS

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MEMS

華潤上華亮相深圳IIC-China并做精彩演講

典型MEMS工藝流程

2016年手機(jī)MEMS器件市場有望超60億美元

技術(shù)推動(dòng)是加速傳感器技術(shù)發(fā)展的保證和機(jī)遇

汽車上mems (微機(jī)電系統(tǒng))應(yīng)用

MEMS可調(diào)色散補(bǔ)償儀原理

亞德諾MEMS麥克風(fēng)進(jìn)軍工業(yè)應(yīng)用市場

ADI 以業(yè)界最低雜訊 MEMS 麥克風(fēng)樹立高效能基準(zhǔn)

利用MEMS慣性感測技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革

ST率先采用矽穿孔技術(shù) 實(shí)現(xiàn)尺寸更小且更智慧的MEMS晶片

基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)

2011年汽車MEMS勁增16%，自然災(zāi)害卻有意外驚喜

基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)

2011年汽車MEMS銷售額達(dá)22億美元

豐田中央研究所介紹硅深掘時(shí)的異常蝕刻及其處理方法

汽車MEMS在逆境中強(qiáng)勁增長

汽車MEMS在2011年繼續(xù)表現(xiàn)亮麗，銷售額強(qiáng)勁增長

汽車MEMS在2011年繼續(xù)表現(xiàn)亮麗，銷售額強(qiáng)勁增長

MEMS壓力傳感器市場在未來三至五年內(nèi)將加速增長

新研發(fā)可植入式MEMS感測器　能用饒舌音樂啟動(dòng)

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