MEMS，即微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的21世紀(jì)前沿技術(shù)，它是指對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。

MEMS主要由微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等組成的一體化微型器件系統(tǒng)。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械，它們的尺寸更小，最大的不超過一個(gè)厘米，甚至僅僅為幾個(gè)微米，其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料，電氣性能優(yōu)良，硅材料的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度與鋁類似，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。采用與集成電路（IC）類似的生成技術(shù)，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝 ，進(jìn)行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)"機(jī)械"制造技術(shù)大幅度提高。

MEMS技術(shù)是采用微制造技術(shù)，在一個(gè)公共硅片基礎(chǔ)上整合了傳感器、機(jī)械元件、致動(dòng)器(actuator)與電子元件。MEMS通常會(huì)被看作是一種系統(tǒng)單晶片(SoC)，它讓智能型產(chǎn)品得以開發(fā)，并得以進(jìn)入很多的次級(jí)市場(chǎng)，為包括汽車、保健、手機(jī)、生物技術(shù)、消費(fèi)性產(chǎn)品等各領(lǐng)域提供解決方案。

在今后，MEMS的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)在于體積越來越小，精度越來越高；工藝和封裝技術(shù)日趨成熟；工程應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展，成功案例越來越多；為冗余控制、精度控制設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)奠定基礎(chǔ)。

MEMS陀螺儀

MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理，將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成與角速度成正比的直流電壓信號(hào)，其核心部件通過摻雜技術(shù)、光刻技術(shù)、腐蝕技術(shù)、LIGA技術(shù)、封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的。 （更多）

MEMS麥克風(fēng)

MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，其敏感性不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。 （更多）

生物醫(yī)學(xué)

基于MEMS工藝的生物醫(yī)學(xué)微針陣列可以廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)測(cè)量， 藥物傳送， 微流體采樣等領(lǐng)域， 它具有尺寸小， 強(qiáng)度高， 用材具有生物兼容性等特點(diǎn)， 從而減少刺入位置的損傷。 （更多）

硅MEMS晶振

硅MEMS時(shí)種器件由低功耗MEMS與可編程的模擬電路集成，采用完全的硅制程工藝。由Tower-Jazz提供晶園、Bosch提供MEMS、TSMC提供硅制程代工，而封裝也是最主流的ASE、Cersem和UTAC。 （更多）

MEMS微型投影儀

MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理，將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成與角速度成正比的直流電壓信號(hào)，其核心部件通過摻雜技術(shù)、光刻技術(shù)、腐蝕技術(shù)、LIGA技術(shù)、封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的。 （更多）

MEMS把電子技術(shù)與機(jī)械特性有機(jī)地結(jié)合了起來。它可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)物理、化學(xué)、生物等方面的功能。MEMS技術(shù)正發(fā)展成為一個(gè)巨大的產(chǎn)業(yè)，就像近20年來微電子產(chǎn)業(yè)和計(jì)算機(jī)產(chǎn)業(yè)給人類帶來的巨大變化一樣，MEMS也正在孕育一場(chǎng)深刻的技術(shù)變革并對(duì)人類社會(huì)產(chǎn)生新一輪的影響。本次專題就是一次與神奇的MEMS熟知的好機(jī)會(huì)。