連接DUT時,除了使用屏蔽和保護電纜,將吉時利4200-SCS的相應(yīng)端子與裝置的合適端子相連接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子連接不合適會導(dǎo)致電流偏移和測量不穩(wěn)定。這些誤差是由于共模電流產(chǎn)生的
保護亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅(qū)動保護防止電纜的漏泄電阻影響小電流測量的原理.在無保護的配置中,同軸電纜的漏阻與DUT并聯(lián)(RDUT),產(chǎn)生不希望的漏流(IL)。該漏流將影響極小電流的測量
目前市場上有不同品牌各式各樣的高精度傳感器,但基本原理都一樣,這里我們以LEM品牌舉例,LEM公司是一家專注于研發(fā)和生產(chǎn)基于磁通門技術(shù)和霍爾原理的電流傳感器的公司,他們做出的傳感器精度高,使用方便,應(yīng)用十分
漏流是施加電壓時通過(泄露)電阻的誤差電流。當(dāng)DUT的阻抗與測試電路中絕緣體的阻抗相當(dāng)時,該誤差電流就會成為問題。為減小漏流,在測試電流中采用高質(zhì)量的絕緣體、降低測試實驗室的濕度,并采用保護。
在確定并減小外部誤差后,如果可能的話,可將測試系統(tǒng)的內(nèi)部和外部偏移從將來的測量結(jié)果中減去。首先,如上所述,在輸入戴有金屬帽的情況下對SMU進行自動校準(zhǔn)。然后,確定每個SMU至探針的偏移。利用軟件
噪聲會嚴(yán)重影響敏感電流測量。DUT的源阻抗和源電容都會影響SMU的噪聲性能。 DUT的源阻抗會影響SMU的反饋安培計的噪聲性能。當(dāng)源電阻減小時,安培計的噪聲增益將增大。圖20所示為反饋安培計的簡化模型。
摩擦電流是由于導(dǎo)體和絕緣體之間摩擦產(chǎn)生的電荷形成的。自由電子由于摩擦離開導(dǎo)體,造成電荷不平衡,由此產(chǎn)生電流。這種噪聲電流可達到數(shù)十nA。圖15所示為摩擦電流的流向。 吉時利4200-SCS配備的三軸電
確定了電流偏移、漏流及所有不穩(wěn)定性后,采取措施減小測量誤差將有助于提高測量準(zhǔn)確度。這些誤差源包括建立時間不足、靜電干擾、漏泄電流、摩擦效應(yīng)、壓電效應(yīng)、污染、濕度、接地環(huán)路,以及源阻抗。圖5