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小電流測(cè)量SMU至DUT的連接
連接DUT時(shí)，除了使用屏蔽和保護(hù)電纜，將吉時(shí)利4200-SCS的相應(yīng)端子與裝置的合適端子相連接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子連接不合適會(huì)導(dǎo)致電流偏移和測(cè)量不穩(wěn)定。這些誤差是由于共模電流產(chǎn)生的
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小電流測(cè)量漏流和保護(hù)II
保護(hù)亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅(qū)動(dòng)保護(hù)防止電纜的漏泄電阻影響小電流測(cè)量的原理.在無(wú)保護(hù)的配置中，同軸電纜的漏阻與DUT并聯(lián)(RDUT)，產(chǎn)生不希望的漏流(IL)。該漏流將影響極小電流的測(cè)量
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小電流測(cè)量的小細(xì)節(jié)，你都知道嗎？
目前市場(chǎng)上有不同品牌各式各樣的高精度傳感器，但基本原理都一樣，這里我們以LEM品牌舉例，LEM公司是一家專(zhuān)注于研發(fā)和生產(chǎn)基于磁通門(mén)技術(shù)和霍爾原理的電流傳感器的公司，他們做出的傳感器精度高，使用方便，應(yīng)用十分
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小電流測(cè)量的漏流和保護(hù)I
漏流是施加電壓時(shí)通過(guò)(泄露)電阻的誤差電流。當(dāng)DUT的阻抗與測(cè)試電路中絕緣體的阻抗相當(dāng)時(shí)，該誤差電流就會(huì)成為問(wèn)題。為減小漏流，在測(cè)試電流中采用高質(zhì)量的絕緣體、降低測(cè)試實(shí)驗(yàn)室的濕度，并采用保護(hù)。
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小電流測(cè)量偏移補(bǔ)償
在確定并減小外部誤差后，如果可能的話，可將測(cè)試系統(tǒng)的內(nèi)部和外部偏移從將來(lái)的測(cè)量結(jié)果中減去。首先，如上所述，在輸入戴有金屬帽的情況下對(duì)SMU進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)。然后，確定每個(gè)SMU至探針的偏移。利用軟件
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小電流測(cè)量 噪聲和源阻抗
噪聲會(huì)嚴(yán)重影響敏感電流測(cè)量。DUT的源阻抗和源電容都會(huì)影響SMU的噪聲性能。 DUT的源阻抗會(huì)影響SMU的反饋安培計(jì)的噪聲性能。當(dāng)源電阻減小時(shí)，安培計(jì)的噪聲增益將增大。圖20所示為反饋安培計(jì)的簡(jiǎn)化模型。
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小電流測(cè)量摩擦效應(yīng)
摩擦電流是由于導(dǎo)體和絕緣體之間摩擦產(chǎn)生的電荷形成的。自由電子由于摩擦離開(kāi)導(dǎo)體，造成電荷不平衡，由此產(chǎn)生電流。這種噪聲電流可達(dá)到數(shù)十nA。圖15所示為摩擦電流的流向。 吉時(shí)利4200-SCS配備的三軸電
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小電流測(cè)量誤差源及減小誤差的方法
確定了電流偏移、漏流及所有不穩(wěn)定性后，采取措施減小測(cè)量誤差將有助于提高測(cè)量準(zhǔn)確度。這些誤差源包括建立時(shí)間不足、靜電干擾、漏泄電流、摩擦效應(yīng)、壓電效應(yīng)、污染、濕度、接地環(huán)路，以及源阻抗。圖5
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