此次的產(chǎn)品和使用示意圖 數(shù)據(jù)由意法半導(dǎo)體提供。(點擊放大) 意法合資公司意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)發(fā)布了采用MEMS技術(shù)的數(shù)字輸出3軸陀螺儀IC新產(chǎn)品“L3GD20”(英文發(fā)布資料)。為在1年半前發(fā)布的陀螺
MEMS技術(shù)基礎(chǔ)MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子技術(shù)、機械技術(shù)、物理
消費電子、通信電子產(chǎn)品,如手機、數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機、PDA、MP3、PMP、P-DVD、DC、DV、NB、NetBook等必須具備一定的抗沖擊或抗跌落能力。這些產(chǎn)品的制造商要求其整機必須能通過1.2米或1.3米的自由跌落測試,從1.2米
21ic訊 SiTime公司針對電信、通訊、儲存、無線等應(yīng)用領(lǐng)域推出基于MEMS技術(shù)的SiT820X可編程振蕩器系列。SiT820X系列包含了分別針對1~80MHz的SiT8208, 以及針對80MHz~220MHz 的SiT8209可編程振蕩器。該系列振蕩器提供
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)就是將幾何尺寸或操作尺寸僅在微米、亞微米甚至納米量級的微機電裝置(如微機構(gòu)、微驅(qū)動器等)與控制電路高度集成在硅基或非硅基材料上的一個非常小的空間里,構(gòu)成一個機電一體化的器件或系統(tǒng)
MEMS完全不同于主要利用硅的電性質(zhì)的半導(dǎo)體芯片。MEMS的核心部件沒有柵-漏-源三極,而是一個完全由硅制成的微型機械結(jié)構(gòu)。一個典型的MEMS結(jié)構(gòu)包括質(zhì)量矩滑塊、彈簧和阻尼器,工作原理與質(zhì)量彈簧模型基本相同。 ME
當(dāng)前的時鐘產(chǎn)品越來越趨向小型化,薄型化,在此過程中保持可靠性,穩(wěn)定性和高性能成為難點。傳統(tǒng)的石英或壓電陶瓷材料,由于其自身的易碎性,在厚度小于0.8mm時其抗沖擊,抗震動能力大受影響。MEMS振蕩器具有不受振動
微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)有望給各個年齡層的個人、各種產(chǎn)業(yè)乃至我們整個社會帶來更加深遠(yuǎn)的影響。這種技術(shù)正從器件級轉(zhuǎn)向器件內(nèi)外部都需要新興技術(shù)的系統(tǒng)級平臺。 這兩個領(lǐng)域的成功將實現(xiàn)用于智能傳感和情境感知的新
晶圓代工大廠聯(lián)華電子(UMC,聯(lián)電)日前宣布成功為客戶產(chǎn)出微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)感測器晶片,預(yù)計于今年進(jìn)入量產(chǎn);該公司表示其三年來投入 CMOS-MEMS 技術(shù)的研發(fā),終于獲得豐碩的成果。
隨著iPhone Wii等熱賣,MEMS成為了今年半導(dǎo)體界耀眼的明星,實際上最早MEMS由于價格昂貴,一直都應(yīng)用于軍事及汽車等設(shè)備中。此后隨著PC和信息技術(shù)的興起,TI及HP相繼推出了基于MEMS技術(shù)的投影儀和打印機,才使得MEMS
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù),創(chuàng)造性思維是不可或缺的;而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認(rèn)為,微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。事實上,MEMS元件的推出已證實了其在大量消費性市場應(yīng)
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù),創(chuàng)造性思維是不可或缺的;而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認(rèn)為,微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。 事實上,MEMS元件的推出已證實了其在大量消
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù),創(chuàng)造性思維是不可或缺的;而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認(rèn)為,微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。事實上,MEMS元件的推出已證實了其在大量消費性市場應(yīng)
浜松光電開發(fā)出了全球首款可采用MEMS技術(shù)制造的小型光電倍增管“μPMT”。利用蝕刻技術(shù)在硅基板上垂直刻出約900μm的溝槽,形成了電子倍增部(倍增電極)的精密構(gòu)造(圖1)注1)。與原來采用玻璃管的光電倍增管相比,
惠普(HP)最近積極推動「感測即服務(wù)(sensing as a service)」業(yè)務(wù)策略,為其微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)專長開發(fā)未來應(yīng)用。 在一場于美國舉行的MEMS產(chǎn)業(yè)高峰會上,HP業(yè)務(wù)策略長Rich Duncombe表示,MEMS是一項誕生2
MEMS是受微電子技術(shù)啟發(fā)并在其基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,是微電子加工技術(shù)和多種微機械加工技術(shù)相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執(zhí)行器、信號處
MEMS是受微電子技術(shù)啟發(fā)并在其基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,是微電子加工技術(shù)和多種微機械加工技術(shù)相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執(zhí)行器、信號處理和
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微機電系統(tǒng)),是受微電子技術(shù)啟發(fā)并在其基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,是微電子加工技術(shù)和多種微機械加工技術(shù)相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、
在二十世紀(jì)90年代早期,汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中,MEMS技術(shù)的第二次應(yīng)用浪潮被掀起。期間,MEMS技術(shù)被大量應(yīng)用,產(chǎn)品種類逐漸增多,相關(guān)技術(shù)被應(yīng)用到各行各業(yè)。第二代技術(shù)和產(chǎn)品
MEMS是受微電子技術(shù)啟發(fā)并在其基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,是微電子加工技術(shù)和多種微機械加工技術(shù)相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執(zhí)行器、信號處理和