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什么是MEMS
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，目前MEMS加工技術(shù)又被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)
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MEMS技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域廣闊，助醫(yī)療設(shè)備更完善
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在動(dòng)作、加速度、傾斜角以及振動(dòng)等傳感器中應(yīng)用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢(shì)。 MEMS加速度計(jì)和陀螺儀可成功實(shí)現(xiàn)更多符合
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提升國際競(jìng)爭(zhēng)力 廠商剖析最新MEMS技術(shù)趨勢(shì)
「SEMICON Taiwan 2010國際半導(dǎo)體展」以「如何提升MEMS產(chǎn)業(yè)國際競(jìng)爭(zhēng)力」為主題舉辦 MEMS 創(chuàng)新技術(shù)趨勢(shì)論壇，邀請(qǐng)意法半導(dǎo)體(ST)、日月光、IMEC、InvenSense、探微科技、Multitest、SUSS MicroOptics、EV Group、日本
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MEMS技術(shù)：醫(yī)療電子跨越式發(fā)展的新動(dòng)力
如今，微機(jī)電系統(tǒng)（Micro ElectroMechanical Systems，簡(jiǎn)稱MEMS）技術(shù)在醫(yī)療電子領(lǐng)域的應(yīng)用如火如荼，并在醫(yī)療電子應(yīng)用領(lǐng)域獲得了充足的技術(shù)演進(jìn)動(dòng)力 咨詢機(jī)構(gòu)A. M. Fitzgerald & Associates公司認(rèn)為，MEMS在醫(yī)療電子
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《國際產(chǎn)業(yè)》迎戰(zhàn)歐美對(duì)手，日本企業(yè)將共同開發(fā)MEMS技術(shù)
日本經(jīng)濟(jì)新聞周五報(bào)導(dǎo)指出，日立(Hitachi Ltd)及其它13家日本企業(yè)將共同開發(fā)先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，希望競(jìng)爭(zhēng)力足以趕上歐美競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手?！〕巳樟⑼?，其它13家參與共同開發(fā)者包括：歐姆龍公司(Omron Corp)
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全球MEMS技術(shù)應(yīng)用及其市場(chǎng)發(fā)展?fàn)顩r
MEMS有廣泛的應(yīng)用，但其封裝測(cè)試成本是決定其能否有光明市場(chǎng)前景的重要因素 MEMS及其應(yīng)用 MEMS技術(shù)是采用微制造技術(shù)，在一個(gè)公共硅片基礎(chǔ)上整合了傳感器、機(jī)械元件、致動(dòng)器（actuator）與電子元件。MEMS通
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Globalpress電子峰會(huì)專輯：聚焦MEMS技術(shù)
21IC記者應(yīng)邀了參加了4月下旬在美國加州Santa Cruz召開的2010 Globalpress電子峰會(huì)，“Globalpress電子峰會(huì)專輯”將與大家分享我們?cè)诖舜畏鍟?huì)上了解到的行業(yè)動(dòng)態(tài)、最新趨勢(shì)和解決方案。從胎壓監(jiān)測(cè)到麥克風(fēng)，從先進(jìn)的
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ADI的iMEMS技術(shù)協(xié)助開發(fā)新登山車懸吊系統(tǒng)
美商亞德諾(Analog Devices，ADI)與Cannondale自行車公司合作，于Cannondale的Simon電子式前懸吊系統(tǒng)中，采用ADI的iMEMS加速度計(jì)技術(shù)。Simon懸吊系統(tǒng)單軸iMEMS加速度計(jì)，以2毫秒的間隔監(jiān)測(cè)地形。此數(shù)據(jù)由Simon系
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看好MEMS技術(shù)發(fā)展前景，博世收購Akustica
羅伯特·博世北美分公司日前正式簽署協(xié)議收購Akustica 公司，后者是消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)上CMOS（互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體）MEMS（微型機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)應(yīng)用的革新者。協(xié)議的條款內(nèi)容不會(huì)被披露。 Akustica公司成立于2001
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名牌設(shè)計(jì)帶活MEMS市場(chǎng)應(yīng)用
電子產(chǎn)品設(shè)計(jì)中的“明星”——MEMS傳感器雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷帶活了MEMS市場(chǎng)的應(yīng)用?？梢院敛豢?/p>
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鎖定“所有可攜帶電子產(chǎn)品”，MEMS應(yīng)用前景廣闊
于可提高生活品質(zhì)的日常消費(fèi)性電子產(chǎn)品（lifestyle products），采用MEMS芯片可以使這些產(chǎn)品的操作更加方便、簡(jiǎn)單。 Bosch Sensortec市場(chǎng)部主管Leopold Beer表示，“所有可攜帶的電子產(chǎn)品都是MEMS的發(fā)展目標(biāo)”。
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MEMS開發(fā)人員鎖定“可提高生活品質(zhì)的消費(fèi)電子產(chǎn)品”
MEMS技術(shù)已被逐漸用于手機(jī)、數(shù)碼像機(jī)和其它消費(fèi)性電子產(chǎn)品，并有可能在不久后被用于可提高生活品質(zhì)的日常消費(fèi)性電子產(chǎn)品（lifestyle products），采用MEMS芯片可以使這些產(chǎn)品的操作更加方便、簡(jiǎn)單。 Bosch Sensort
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高通和臺(tái)灣正威攜手合作開設(shè)mirasol制造工廠
高通全資子公司高通MEMS技術(shù)有限公司與領(lǐng)先的通訊終端、電腦和消費(fèi)電子產(chǎn)品開發(fā)商和制造商正威集團(tuán)宣布了一項(xiàng)合作協(xié)議，將在桃園龍?zhí)犊萍紙@區(qū)開設(shè)一家專門用于制造高通公司下一代mirasol?顯示器的工廠，該工廠預(yù)計(jì)在
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MEMS技術(shù)的發(fā)展歷史
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形，會(huì)影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。后來的電路則
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