隨著量子計(jì)算的出現(xiàn)，對(duì)外圍容錯(cuò)邏輯控制電路的需求達(dá)到了新的高度。在傳統(tǒng)計(jì)算中，信息的單位是“1”或“0”。在量子計(jì)算機(jī)中，信息單位是一個(gè)量子比特，可以描繪為“0”、“1”或兩個(gè)值的疊加（稱為“疊加態(tài)”）。
使用泛林集團(tuán)Equipment Intelligence?應(yīng)對(duì)腔室匹配挑戰(zhàn)
這一使用突破性技術(shù)的合作將為全球芯片制造商提供強(qiáng)大的化學(xué)品供應(yīng)鏈，并支持下一代 EUV 應(yīng)用的研發(fā)
這一使用突破性技術(shù)的合作將為全球芯片制造商提供強(qiáng)大的化學(xué)品供應(yīng)鏈，并支持下一代 EUV 應(yīng)用的研發(fā)
這些突破性產(chǎn)品旨在補(bǔ)充和擴(kuò)展泛林集團(tuán)行業(yè)領(lǐng)先的刻蝕解決方案組合，使芯片制造商能夠以超高的選擇性和埃米級(jí)的精度刻蝕和修改薄膜，以實(shí)現(xiàn)最先進(jìn)的集成電路(IC)性能并加速其3D路線圖。
在過(guò)去的十年里，對(duì)于體積更小、密度更高、性能更強(qiáng)大的芯片的需求一直在推動(dòng)半導(dǎo)體制造商從平面結(jié)構(gòu)向越來(lái)越復(fù)雜的三維(3D)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型。原因很簡(jiǎn)單，垂直堆疊可以實(shí)現(xiàn)更高的密度。
Sense.i為刻蝕技術(shù)的未來(lái)設(shè)定步伐
隨著市場(chǎng)需求推動(dòng)存儲(chǔ)器技術(shù)向更高密度、更優(yōu)性能、新材料、3D堆棧、高深寬比 (HAR) 刻蝕和極紫外 (EUV) 光刻發(fā)展，泛林集團(tuán)正在探索未來(lái)三到五年生產(chǎn)可能面臨的挑戰(zhàn)，以經(jīng)濟(jì)的成本為晶圓廠提供解決方案。
上周，泛林集團(tuán)發(fā)布了Syndion G系列產(chǎn)品的新成員——全新Syndion? GP。在本周的微信中，泛林集團(tuán)客戶支持事業(yè)部Reliant系統(tǒng)產(chǎn)品副總裁Evan Patton將為大家講述該產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)背景。
進(jìn)一步擴(kuò)大公司在深硅刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，新的半導(dǎo)體制造方案支持用于汽車(chē)與智能技術(shù)的芯片開(kāi)發(fā)
在干法刻蝕中，由于與氣體分子的碰撞和其他隨機(jī)熱效應(yīng)，加速離子的軌跡是不均勻且不垂直的(圖1)。這會(huì)對(duì)刻蝕結(jié)果有所影響，因?yàn)榫A上任何一點(diǎn)的刻蝕速率將根據(jù)大體積腔室可見(jiàn)的立體角和該角度范圍內(nèi)的離子通量而變化。這些不均勻且特征相關(guān)的刻蝕速率使半導(dǎo)體工藝設(shè)計(jì)過(guò)程中刻蝕配方的研發(fā)愈發(fā)復(fù)雜。在本文中，我們將論述如何通過(guò)在SEMulator3D?中使用可視性刻蝕建模來(lái)彌補(bǔ)干法刻蝕這一方面的不足。
2021年11月5日，上海——今日，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體創(chuàng)新晶圓制造設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商泛林集團(tuán)攜全新的品牌形象及突破性技術(shù)亮相第四屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“進(jìn)博會(huì)”）。11月5-10日展會(huì)期間，在位于上海國(guó)家會(huì)展中心進(jìn)博會(huì)技術(shù)裝備展區(qū)（4.1號(hào)館A2-001展位），泛林集團(tuán)以“迸發(fā)創(chuàng)新力量，共筑美好未來(lái)”為主題，對(duì)其前沿技術(shù)、解決方案、以及公司的發(fā)展歷程和企業(yè)文化進(jìn)行全面展示，并與集成電路產(chǎn)業(yè)的同仁們分享行業(yè)見(jiàn)解。
氦氣正在變得緊缺。對(duì)于它的用途，消費(fèi)者可能最熟悉的就是充氣球，但其實(shí)各種工業(yè)領(lǐng)域?qū)獾膽?yīng)用更加廣泛，其中也包括半導(dǎo)體制造。出于供給考慮，包括泛林集團(tuán)在內(nèi)的許多公司都在尋找減少氦氣使用的方法。
材料創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)了人類文明的重大進(jìn)步，作為一名材料工程師，我對(duì)這一點(diǎn)感到非常自豪。石器時(shí)代、青銅時(shí)代和鐵器時(shí)代都是人類發(fā)展至今的重要階段。
“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護(hù)方式，即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對(duì)于需要高精度維護(hù)的設(shè)備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤(rùn)過(guò)的無(wú)絨布，不過(guò)“濕法清洗”這個(gè)傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以，維護(hù)方式被稱為“濕法”，但實(shí)際上卻是“干法”。
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